OHKURA流量控制器MF5100B

MF5100B系列，大幅度的流量范围，高温度稳定度，三种模式的软启动机能等使用的便利性和高性能并存的流量控制器

特征

■广泛的流量范围

最小流量范围是5 SCCM，最大400 SLM为止丰富。

高信赖性

优化各电路的集成化和机械的优化，同时也达到了高的信赖性。

■软起动功能

本体内置的软件起动功能，直线性的上升，时间调整（最大70秒），3种模式（设置变更时，电源投入时，外部阀闭→开时候）动作。

■高稳定度

温度稳定度0.05 %/℃、泄漏规格，1×10 - 10 Pa・m 3 / s（他）为止可能。

选型参数

MF5111B

MF5141B

MF5151B

MF5112B

MF5142B

MF5152B

MF5113B

MF5143B