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流量计 MF5100A |
OHKURA流量控制器MF5100A MF5100A系列,大幅度的流量范围,高温度稳定度,三种模式的软启动机能等使用的便利性和高性能并存的流量控制器 特征 ■广泛的流量范围 最小流量范围是5 SCCM,最大400 SLM为止丰富。 高信赖性 优化各电路的集成化和机械的优化,同时也达到了高的信赖性。 ■软起动功能 本体内置的软件起动功能,直线性的上升,时间调整(最大70秒),3种模式(设置变更时,电源投入时,外部阀闭→开时候)动作。 ■高稳定度 温度稳定度0.05 %/℃、泄漏规格,1×10 - 10 Pa・m 3 / s(他)为止可能。 选型参数 MF5111A MF5141A MF5151A MF5112A MF5142A MF5152A MF5113A MF5143A |